»ó¼¼Á¤º¸
(½±°Ô ¹è¿ì´Â) ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º

(½±°Ô ¹è¿ì´Â) ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º

ÀúÀÚ
»çÅä ÁØÀÌÄ¡ ¿Ü
ÃâÆÇ»ç
ºÏ½ºÈú
ÃâÆÇÀÏ
2024-05-08
µî·ÏÀÏ
2024-07-31
ÆÄÀÏÆ÷¸Ë
PDF
ÆÄÀÏÅ©±â
0
°ø±Þ»ç
´©¸®¹Ìµð¾î
Áö¿ø±â±â
PC PHONE TABLET ÇÁ·Î±×·¥ ¼öµ¿¼³Ä¡ ºä¾îÇÁ·Î±×·¥ ¼³Ä¡ ¾È³»
ÇöȲ
  • º¸À¯ 1
  • ´ëÃâ 0
  • ¿¹¾à 0

Ã¥¼Ò°³

½Ç¹« Áß½ÉÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ºñÁî´Ï½º ÀÔ¹®¼­

ÀÌ Ã¥Àº ¹ÝµµÃ¼ ºñÁî´Ï½º¿¡ Á¾»çÇÏ°í Àְųª ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Àü¹Ý¿¡ Èï¹Ì¸¦ °¡Áø ºñÀü¹®°¡¸¦ Æ÷ÇÔÇØ »çȸÀΰú ÇлýÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÁýÇʵǾú´Ù. ¿À·£ ½Ã°£ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷¿¡ ±Ù¹«Çß´ø ÇÊÀÚ´Â ±×°£ÀÇ °æÇèÀ» »ì·Á µÇµµ·Ï ½Ç¹« À§ÁÖÀÇ ÇöÀå ¿ë¾î¸¦ »ç¿ëÇÏ·Á Çß°í, ´Ù¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º ÀÔ¹® °­¿¬À» Çß´ø ±â¾ïÀ» ¶°¿Ã¸®¸ç ´ç½Ã °­¿¬Àå¿¡¼­ ¹Þ¾Ò´ø ¿©·¯ Áú¹®¿¡ ´äÇÏ´Â ÇüÅ·ΠÇÙ½É Àç·áÀÎ ½Ç¸®ÄܺÎÅÍ ¹ÝµµÃ¼ fab., Àü¡¤ÈÄ °øÁ¤¿¡ À̸£±â±îÁö ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º Àü¹ÝÀ» Á¶¸ÁÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÁýÇÊÇß´Ù. µû¶ó¼­ Àü¹®ÀûÀÎ ¼³¸íµµ ÀϺΠÆ÷ÇÔÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ÇöÀå¿¡¼­ÀÇ °æÇè°ú ³ëÇϿ츦 ¹ÙÅÁÀ¸·Î ³»¿ëÀ» ±¸¼º, º¹ÀâÇÑ °úÁ¤À» ±×¸²°ú Ç¥·Î Á¤¸®ÇÏ°í, ¿ª»çÀû ¹è°æºÎÅÍ ÇöÀç±îÁöÀÇ È帧À» ½±°Ô Ç®¾î½á °ü½ÉÀÌ ÀÖ´Â »ç¶÷À̶ó¸é ºñÀü¹®°¡µµ ½±°Ô ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Çß´Ù. ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼¿Í °ü·ÃµÈ ¾÷Á¾¿¡ Á¾»çÇÏ°í ÀÖ´Â °æ¿ì¶óµµ ÀÚ½ÅÀÇ Àü¹® ºÐ¾ß ÀÌ¿ÜÀÇ °ÍµéÀ» ¾Ë°í ½Í´Ù¸é ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ Àü¹ÝÀ» ÀÌÇØÇÏ°í ÇâÈÄ Àü¸ÁÀ» ¿¹ÃøÇÏ´Â µ¥ ¿©·¯¸ð·Î µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀÌ´Ù.

°øÁ¤¿¡ µû¶ó ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î »ìÆ캸´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º
Ã¥ÀÇ ¼¼ºÎÀûÀÎ ³»¿ëÀ» µé¿©´Ùº¸¸é, µµÀԺο¡¼­´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤À» ÀüüÀûÀ¸·Î Á¶¸ÁÇÏ´Â Àǹ̿¡¼­ ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ Æ¯Â¡À» ¾Ë¾Æº»´Ù. Áï ¹ÝµµÃ¼ Àü °øÁ¤¿¡ ´ëÇØ °³°ýÀûÀ¸·Î »ìÆ캸°í ÇÁ·ÐÆ® ¿£µå¿Í ¹é ¿£µåÀÇ Â÷ÀÌ, ÁÖÀç·áÀÎ ½Ç¸®ÄÜÀÇ ¼ºÁú, ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ¸¸µé±â, ÈÄ °øÁ¤ÀÇ ³»¿ë µîÀ» °³·«ÀûÀ¸·Î ¼³¸íÇÑ´Ù. ÀÌ¾î ¼¼Á¤°ú °ÇÁ¶, ÀÌ¿Â ÁÖÀÔ ±â¼ú¿¡ ´ëÇØ ´Ù·é´Ù. ´ÙÀ½À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È­¸¦ À̲ø¾î¿Â ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼ú¿¡ ´ëÇØ »ìÆ캻´Ù. ¿©±â¿¡¼­´Â ·¹Áö½ºÆ®¿Í Çö»ó, ¾Ö½Ì µî ÁÖº¯ ±â¼úÀ» Æ÷ÇÔÇØ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇÀÇ ¿ª»çÀû ¹è°æºÎÅÍ ÃÖ±ÙÀÇ ¾×ħ ³ë±¤, ´õºí ÆÐÅÍ´×, EUV ³ë±¤ ±â¼ú±îÁö µÎ·ç ¾ð±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Á߹ݺÎÅÍ´Â ¿¡Äª ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ´ëÇØ ±â¼úÇÑ´Ù. ¶ÇÇÑ À̹漺 ¸ÞÄ¿´ÏÁò°ú ÃÖ±ÙÀÇ ¿¡Äª ±â¼ú µ¿Çâ, ¼º¸· ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ´ëÇØ ´Ù·é´Ù. ¾Æ¿ï·¯ high-k °ÔÀÌÆ® ½ºÅà ±â¼ú°ú Cu/low-k ±â¼ú¿¡ °üÇؼ­µµ µé¿©´Ùº¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ CMPÀÇ ¸ÞÄ¿´ÏÁò°ú CMP ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ´Ù¿ëÇÏ´Â Cu µà¾ó ´Ù¸¶½Å ±â¼ú°ú CMP ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ °úÁ¦¿¡ ´ëÇؼ­µµ ¾ð±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÈĹݺηΠµé¾î¼­¸é ÁÖ·Î ·ÎÁ÷ LSI¿¡ »ç¿ëµÇ´Â CMOS ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ´ë·«ÀûÀÎ Ç÷ο¡ ´ëÇØ »ìÆ캻´Ù. »ç½Ç»ó ÇÁ·ÐÆ® ¿£µå°¡ ¸ÞÀÎÀÌÁö¸¸ Ç÷ÎÀÇ °³¿ä¿Í Áö±Ý±îÁö ¾ð±ÞÇÑ ÇÁ·Î¼¼½º°¡ ¾î¶»°Ô »ç¿ëµÇ´Â°¡¿¡ ´ëÇÑ ÀÌÇظ¦ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Â °è±â°¡ µÉ °ÍÀÌ´Ù. À̾ CMOS ±¸Á¶¡¤Æ®·»Ä¡¡¤Àü±Ø Çü¼º¿¡ ´ëÇØ ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î »ìÆ캻´Ù. ¾Æ¿ï·¯ ÈÄ °øÁ¤ ÇÁ·Î¼¼½º °¡¿îµ¥ ºñ±³Àû »õ·Î¿î ±â¼ú¿¡ ¼ÓÇÏ´Â ¿ÍÀ̾½º º»µùÀ» ½ÃÀÛÀ¸·Î ÆÐÅ°Áö ±â¼úÀÇ µ¿ÇâÀ» »ìÆ캻´Ù. Ã¥ÀÇ ¸»¹Ì¿¡¼­´Â Áö±Ý±îÁö ±â¼úÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ÇÁ·Î¼¼½º ÀüüÀÇ ÃÖ±Ù È帧°ú ºÎ·ÏÀ¸·Î ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÇâÈÄ Àü¸ÁÀ» ºÐ¼®ÇÏ¸ç ¸¶¹«¸®ÇÑ´Ù.
ÇÊÀÚ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÌ ´ë ÀüȯÁ¡¿¡ ¼­ ÀÖ´Â Áö±ÝÀ̾߸»·Î Å©°Ô µµ¾àÇÒ ±âȸ¶ó¸ç, µû¶ó¼­ ÀÌ Ã¥ÀÌ ±× ±âȸ¿¡ ¼± µ¶Àڵ鿡°Ô ÀÛÀº µµ¿òÀÌ µÇ¾úÀ¸¸é ÇÏ´Â ¹Ù¶÷ÀÌ´Ù.

¿¬°üµµ¼­ ¿¬°üµµ¼­¸¦ ¼Ò°³Çص帳´Ï´Ù!
ÀúÀÚµ¿ÀÏ
ÇÔ²² ´ëÃâÇÑ µµ¼­

    ÀÌ Ã¥À» ´ëÃâÇÑ È¸¿øÀÌ ÇÔ²² ´ëÃâÇÑ ÄÁÅÙÃ÷°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.

QUICKSERVICE

TOP